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有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730
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超電導計測機器用極低温クライオスタット
超電導計測機器用極低温クライオスタット 有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730 この度、独)産業技術総合研究所殿との共同研究により「VCS-F1031超電導計測機器用極低温クライオスタット」を開発いたしました。短時間で室温から液体ヘリウム温度までの冷却が可能な構造で、より短時間で実験を開始することが出来ます。また、従来の液体ヘリウムを使用したクライオスタットのように使用時間に制限がありませんので、長時間の使用が可能です。
 新開発のクライオフィンガーを搭載することにより、極低温部をクライオスタット外部に作り出すことに成功しました。クライオフィンガー先端部に超電導検出器を取り付け、超電導検出器を分析装置等の内部に挿入し、計測を行うことが出来ます。クライオスタット内極低温部と超電導検出器搭載位置での温度差をほぼ同温度となるよう設計されています。メンテナンス時には、クライオスタットに取り付けられた移動テーブルによって、超電導検出器を外部まで引き出すことが出来ます。
 冷凍機・コンプレッサーからの振動により超電導検出器の検出感度に悪影響が出るため、この振動を取り除くのに必要な除振構造を採用しています。
 新開発の「超電導計測機器用極低温クライオスタット」は、質量分析器・X線検出器や医療機器などへの幅広い応用が見込まれています。 (特許申請中)
 ご興味をお持ちの方は、何なりとお問い合せ下さい。
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超電導計測機器用極低温クライオスタット 有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730 
超電導計測機器用極低温クライオスタット 有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730 
 
 
超/高真空薄膜作成装置
超高真空蒸着装置 有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730

MBE装置

超高真空中において、蒸発源に入れられた試料を加熱することにより蒸着を行います。蒸発源には固体用K-セル、ガスセルやレーザー等を使用します。高精度な基板回転加熱機構により安定したエピタキシャル成長を行うことができます。(MAX1200℃対応)
 ロードロックチャンバーと蒸着チャンバーの2室構成により、蒸着チャンバーを超高真空に保ったまま、大気開放することなく基板交換が行えます。詳しくはお問い合せください。
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超高真空蒸着装置

高真空/超高真空中において、蒸発源に入れられた試料を加熱することにより蒸着を行います。蒸発源にはEBガン、抵抗加熱等を使用します。基板回転加熱機構により、安定した成膜を行えます。(MAX1200℃対応)
 ロードロックチャンバーと蒸着チャンバーの2室構成により、蒸着チャンバーを超/高真空に保ったまま、大気開放することなく基板交換が行えます。詳しくはお問い合せ下さい。
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写真

スパッタ装置

スパッタガンにより、単源・多源スパッタを行うことができます。磁性材ターゲットにも対応可能です。ご希望のターゲット材に対応したスパッタガンをご提案いたします。基板回転加熱機構により、高精度な安定した成膜を行えます。
 ロードロックチャンバーとスパッタチャンバーの2室構成により、スパッタチャンバーを真空に保ったまま大気開放することなく基板交換が行えます。詳しくはお問い合せ下さい。
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VSE-150DRスパッタ装置(VACFIELD)  VSE-150DR 簡易型DCスパッタ装置                      
ロータリーポンプを主排気系とする低真空DCスパッタ装置です。ターゲット材及びサンプル基板をセットするだけで、容易にスパッタリングを行うことができます。真空チャンバーには耐熱性ガラスを使用しており、チャンバー内の観察ができます。卓上型のコンパクト設計により取り扱いが簡単で、持ち運びが容易に行えます。
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極低温装置
冷媒式クライオスタット 有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730

冷媒式クライオスタット

液体ヘリウムを使用する冷媒式クライオスタットです。試料はクライオスタット内の高真空中に置かれており、トランスファー機構によって、常温部から極低温の先端部まで運ばれます。熱の流入を極力抑えた構造です。
接続部はすべてメタルシール構造で、より超/高真空中での実験が可能です。より低温を得るためには、1Kポットからインピーダンスを使用して温度を下げることが必要です。へリウム3を使用することにより、さらに極低温を得ることができます。
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3He/4Heガスハンドリングシステム 有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730

3He/4Heガスハンドリングシステム

冷媒式クライオスタットへのガス供給やクライオスタット内部を高真空に引くための装置です。極低温を得るための3He/4Heガスの制御を行います。高価な3Heガスが外部に漏れることが無いよう配管にはメタルシールを採用しています。防振機構を取り入れており、真空ポンプからの振動を低減します。タッチパネルを使用しており、セミオートマチックでの操作ができますので、操作ミスによる誤操の心配がありません。
  
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超電導コイル 有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730

超電導コイル

各種超電導コイルを製作いたします。お客様の仕様に合わせて設計/製作いたします。詳しくはお問い合せ下さい。
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その他の装置
超高真空装置 有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730

超/高真空排気装置

超/高真空排気装置を設計/製造いたします。使用目的によって、ポンプの選定や構造・真空計の種類についてもご提案します。丸/角チャンバーでの製作が可能です。
目的に合わせて設計/製作いたします。詳しくはお問い合せ下さい。
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超/高真空加熱装置

真空中で加熱することにより、真空部品や試料等の脱ガスを目的とした装置です。150〜200℃に加熱することによって材料中に含まれるガス分子を取り除き、より早く超高真空に排気することが可能になります。
目的に合わせて設計/製作いたします。詳しくはお問い合せ下さい。
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ビームライン装置 有限会社バックフィールド 所在地:東京都小平市天神町1-6-5 1F TEL042-346-7715 FAX042-346-7730

ビームライン装置

各種ビームライン用真空装置を設計/製作いたします。イオンビーム・放射光等目的に合わせた製品をご提案します。
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